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高电荷态离子在Cu和W表面的势能溅射
2010-12-12 中国科技论文在线 王铁山 丁晶洁 程锐 鲁霞 赵永涛

  本文研究了Arq+ (1≤q≤16) 与 Pbq+ (4≤q≤36) 轰击金属Cu和W表面所产生的溅射现象。实验结果显示了在金属表面的势能溅射存在阈值效应。溅射产额在q<24时没有显著变化,在q≥24时随着势能急剧增加。作为比较,对Pbq+ (4≤q≤36) 轰击绝缘体(SiO2)和半导体(Si)表面的溅射产额也做了测量。结果显示产额随势能呈近似线性增加趋势。高电荷态离子在固体表面产生的势能溅射与材料的性质尤其是导电性密切相关。

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